Apakah udara bertekanan di pabrik semikonduktor perlu disuplai dengan tekanan yang dibagi-bagi?

Klasifikasi dasar sistem udara bertekanan pada pabrik semikonduktor

Dalam proses manufaktur semikonduktor, udara bertekanan merupakan sumber energi yang tak tergantikan. Sistem udara bertekanan di pabrik chip umumnya dibagi berdasarkan tujuan penggunaan dan persyaratan kualitas, menjadiUdara Bersih dan Kering (CDA)danUdara Instrumentasi (IA)Dua kategori utama. Udara pada masing-masing kategori menunjukkan perbedaan yang signifikan dalam hal tekanan, titik embun, kadar minyak, serta pengendalian partikel, sehingga menentukan perlunya penerapan strategi pasokan udara berdasarkan tekanan parsial.

Mengapa pabrik chip memerlukan pasokan gas dengan tekanan yang dibagi?

• Memenuhi kebutuhan perangkat yang beragam:Di dalam pabrik semikonduktor terdapat beragam peralatan, mulai dari peralatan pendukung berskala besar hingga katup pneumatik berukuran kecil, yang masing-masing memiliki tekanan kerja nominal yang berbeda. Penyediaan udara bertekanan tinggi secara seragam dapat menyebabkan kerusakan pada peralatan bertekanan rendah, sementara penyediaan udara bertekanan rendah secara seragam tidak mampu memenuhi kebutuhan daya bagi peralatan bertekanan tinggi.
• Menghindari pemborosan energi:Jika seluruh pabrik menggunakan pasokan udara bertekanan tinggi yang seragam, peralatan di ujung jaringan dengan tekanan rendah harus menurunkan tekanannya melalui katup penyempitan, yang menyebabkan sebagian besar udara terkompresi terbuang percuma. Sistem pasokan udara bertekanan terpisah memungkinkan penyesuaian tekanan sesuai kebutuhan jaringan pipa yang sebenarnya, sehingga secara signifikan menurunkan tekanan buang kompresor udara dan pada gilirannya menghemat energi listrik.
• Menjamin stabilitas tekanan:Proses manufaktur presisi sangat sensitif terhadap fluktuasi tekanan sumber udara. Sistem pasokan udara bertekanan terpisah mampu mengisolasi berbagai area penggunaan udara, sehingga mencegah perubahan mendadak pada konsumsi udara di satu area yang dapat menyebabkan fluktuasi tekanan pada jaringan pipa seluruh pabrik, sekaligus memastikan tekanan udara instrumen dan peralatan proses kritis tetap stabil.

Cara penerapan pasokan gas bertekanan parsial dan desain jaringan pipa

Dalam perancangan sistem pabrik yang sesungguhnya, penyediaan udara bertekanan secara bertahap umumnya dilaksanakan melalui stasiun pengurang tekanan berlapis dan jaringan pipa berbentuk lingkaran. Udara bertekanan tinggi yang dihasilkan oleh ruang kompresor pertama-tama masuk ke dalam…Stasiun pengurang tekanan utama, setelah diturunkan ke tekanan menengah, disalurkan ke berbagai gedung pabrik. Di dalam gedung pabrik atau di dekat kelompok peralatan tertentu, kemudian dipasang kembaliKelompok katup pengurang tekanan areaAtauKatup pengurang tekanan ujung, menyesuaikan tekanan secara presisi hingga mencapai nilai setel yang diperlukan oleh peralatan.

Selain itu, untuk sistem udara instrumen, karena sistem ini secara langsung mengendalikan berbagai katup pengatur dan perangkat interlock keselamatan pada sistem utilitas pabrik, biasanya diterapkan loop pemisahan tekanan yang independen, dilengkapi dengan katup pengurang tekanan dan filter yang redundan, guna memastikan bahwa bahkan dalam kondisi operasi ekstrem sekalipun tetap dapat menyediakan sumber udara bertekanan rendah yang stabil dan bersih.

Arti penting pasokan gas bertekanan parsial terhadap tingkat hasil dan biaya

Manufaktur chip merupakan industri yang sangat padat modal dan teknologi; fluktuasi lingkungan yang kecil sekalipun dapat menyebabkan penurunan tingkat hasil wafer. Desain pasokan gas bertekanan terpisah yang tepat tidak hanya mampu menyediakan sumber daya yang sesuai dan stabil bagi peralatan presisi, sehingga mengurangi downtime peralatan atau penyimpangan proses akibat tekanan gas yang tidak normal, tetapi juga dapat secara signifikan menurunkan konsumsi energi keseluruhan sistem kompresor udara melalui optimalisasi tekanan jaringan pipa. Karena itu, sistem pasokan gas bertekanan terpisah bukan hanya merupakan kebutuhan teknis, melainkan juga langkah kunci bagi pabrik chip untuk mewujudkan produksi yang efisien dan pengendalian biaya.